无尘室的适用范围很广,只要洁净要求比较高的都会用到。今天我们更地为大家讲述一下无尘室等级分类及应用标准。
无尘室的等级分类说明
依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。
洁净技术,即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染。人是污染源的大发源地:静坐时,人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。 半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。十万级GMP洁净车间对不同的对象,无尘车间安装公司,有不同的玷污物控制要求。 计有: ⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)⑵空气中悬浮分子玷污物 ⑶病毒 ⑷微振 ⑸静电⑹生产工艺介质:高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
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