PARKER气动隔膜阀PV-20系列

PARKER气动隔膜阀PV-20系列

PARKER气动隔膜阀PV-20系列是PTFE泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀泥浆介质提供特殊密封。阀门大限度减小粒子的生成，用于半导体制造和洁净区域应用。
PARKER气动隔膜阀PV-20系列是PTFE聚四氟乙烯含氟聚合物气动隔膜阀，用于半导体和洁净区域应用中控制研磨性泥浆介质和腐蚀性流体。阀门的流路设计大限度降低产生的压降，允许较低的上游压力需求，改进流体动力学。阀门有2通和3通型，三种通径尺寸(1/4", 1/2",和1")。接口尺寸范围：1/4" - 1-1/4" ,连接方式有Parflare, Pargrip 或Nippon Pillar S300 。
PV-20系列泥浆阀阀体由初级形态纯聚四氟乙烯制成，具有更好的耐化学性。这个，再加上改性聚四氟乙烯隔膜，使阀门具有良好的柔韧性和高循环寿命，高压力100 psig。阀门本身也非常紧凑，使操作者能够保护洁净室和次洁净区。
PV-20系列的角形和圆形流路，加上一个开放和横扫碗形状围绕其隔膜，大限度地减少湍流并消除可以引起流体剪切尖角。减少了颗粒截留，提供更高的防腐蚀保护。
总的来说，阀门的设计使其特别适合处理磨蚀和腐蚀性泥浆流体，比如那些存在于受雇于半导体制造的CMP (化学机械平坦化或化学机械抛光)工艺的 。PV-20系列也适用于广泛的其他洁净区处理及分析应用，比如控制酸、化学品和去离子水的流量。
市场:半导体，分析试验室，制药，生物制药，航空航天，工业
PARKER气动隔膜阀特点/优势:
1.的耐腐蚀性
2.均匀分布的阀座密封力小化隔膜和阀座应变，稳定阀门背压能力
3.膜片厚度大，大限度地减少潜在的渗透，同时大限度提高循环寿命
4.用在开环系统中腐蚀性流体时，自排水设计有助可靠性
5.符合 SEMI-F57-0301关于聚合物元件的标准
6. 环境温度范围:0°F 至 +150° F (-17°C 至 +66° C)
7.流体温度范围:0°F 至 +266° F (-17°C 至 +130° C)
8.压力范围：真空到100 psig

应用:半导体工具，工具挂钩，泥浆和腐蚀性化学品分配系统，去离子水
PARKER气动隔膜阀性能特点：
湿性材料：PTFE, 改性 PTFE
不湿润的材料：PVDF, 氟橡胶, PTFE涂层不锈钢弹簧
压力范围：27" HG 汞柱真空 (913 mbar) - 80 psig (5.5 bar) (1/4" 通径) 27" HG 汞柱真空 (913 nbar) - 100 psig (7 bar) (1/2" 通径) (1" 通径)
驱动压力：60 psig (4.1 bar) - 80 psig (5.5 bar)
高外界温度（C)：66°C
高外界温度（F)：150°F
低环境温度(C)：-17°C
低环境温度(F)：0°F
大流体温度（c)：130°C
流体温度（F)：266°F
小流体温度（C)：-17°C
小流体温度（F)：0°F
端口连接2（英寸）：1/4" Parflare, 3/8" Parflare, 1/2" Parflare, 3/4" Parflare, 1" Parflare, 1-1/4" Parflare
流体容量(Cv)：Cv .20, Cv .76, Cv 2.4, Cv 3.9, Cv 6.4, Cv 10.9, Cv 13.5
流量因子kv(l /mn)：Kv 2.8, Kv 10.8, Kv 34.2, Kv 55.8, Kv 91.5, Kv 155.4, Kv 192.9