Edwards真空分子泵报价 潽拓光电

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上轴承为性磁悬浮轴承：无需清洁、振动小、磨损低配有手动放气阀（可选配电磁阀，用于全自动放气）Holweck拖曳分级技术，实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口，提供制程气体稀释，Edwards真空分子泵报价，以保护电机和下轴承

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广州潽拓，番禺区Edwards真空分子泵，EPX180L半导体干式真空泵 EPX180L维修保养

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，Edwards真空分子泵维修，如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 -EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

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爱德华BOC Edwardsext70/70/200 24V

Boc Edwards是英国真空设备供应商，Edwards 是全球zuida的真空设备供应商，在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用。

日本磁悬浮分子泵1983年在全世界范围内开始广泛销售，其磁悬浮分子泵在世界上处于领导的地位。Edwards收购了日本精工，Edwards真空分子泵品牌，确定了自己在ICFab，TFT，OLED及Harddisk等生产领域的地位等分子泵。