广州市pfeiffer普发分子泵 广东潽拓光电

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ATHM系列磁悬浮分子泵安装注意事项：

*内置加热带可以帮助泵运行在较高温度（gao75摄氏度），从而避免沉积物的累积；

*加热带由控制器进行温度控制，ATHMT型分子泵已随泵携带冷却水阀

*分子泵转速的调节——待机转速

—ATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在di待机转速与额定转速之间，这样可以根据客户的工艺情况（如运行在较gao压力下）使泵运行在zui优状态。

gao转速—34000 rpm（ATH 1300M/MT）

*磁悬浮分子泵的安装要求

---磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高，泵出现机械故障或者发生意外时，没有正确安装的泵完全可能由于动能传递到泵体而使得泵脱离设备从而造成事故

---当泵在运行过程中转子突然卡死时，转子的动能将被传递到泵体和设备上

---通过模拟分子泵损坏时的坏状况（转子在全速时碎成两半）

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广州潽拓光电

BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵

BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内先进的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STPiXA3305 系列的新技术）。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203的高度，pfeiffer普发分子泵电话，也等于BOC STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

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优点 10 毫巴以上与气体类型无关 – 允许用任何混合气体安全放空 在大气压下和重复性 –用于可靠的大气压强检测 快速大气压检测 – 无需等待时间和缩短过程周期 任意的安装方位 –