二手兰州瑞德硅片双抛机硅片研磨机硅片磨抛机

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二手兰州瑞德硅片双抛机 硅片研磨机 硅片磨抛机
抛光盘尺寸：
抛光机：φ1041mm×φ395mm×50mm（铸铁）
3.2游星片参数：齿数Z=162 模数DP12 α=20°
3.3游星片数量：6片
3.4修正轮数量：4个
3.5小抛光厚度： 0.2mm/φ50mm
3.6大抛光直径：φ300mm
3.7下抛光盘转速：0～60rpm
3.8整机功率：
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主传动拖动电机
11kW、AC380V、1460rpm、50Hz
太阳轮电机
2.2kW、AC380V、1430rpm、50Hz
供液泵功率：1/4HP，流量：70L/min。
3.9设备外形尺寸（长×宽×高）：1740mm×1220mm×2590mm
3.10设备质量：约3300kg
四、设备主要配置
4.1气动元件 MAC、SMC
4.2减速机 杭州恒星
4.3轴承 　　　　　　 哈瓦洛轴
4.4关节轴承 福建龙溪
4.5可编程控制器〔PLC〕 台达
4.6人机界面〔PT〕 台达
4.7开关电源 台达
4.8变频器　　　　　　　 施耐德
4.9旋钮开关 和泉
4.10低压电器 213厂、施耐德
4.11电机 国产
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五、设备总体技术要求
5.1下盘平面度＜0.035mm
5.2 下盘端面跳动＜0.06mm
六、设备的安装及使用条件
6.1、 设备箱体上装有四个起吊柱，用于设备搬运时吊装，设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。
设备安装的条件为：
a、温度10℃-25℃
b、相对湿度≤95%
c、电源电压AC380V±38V（三相五线制）
d、压缩空气源 0.5-0.6MPa（干燥的清洁空气）
e、冷却水 10-20℃，0.15-0.2MPa
6.2、设备可直接放在地板上，调整六个地脚螺栓可校正设备的水平，校正时，用水平仪在下研盘上检测（即在相互垂直的两个方向上检测、校正），其水平应调至0.06/1000mm。