EDWARDS爱德华IH600干式真空泵问题维修

英国EDWARDS爱德华IH600干式真空泵维修保养

IH真空泵采用了独特的螺杆技术以及世界的驱动技术，实现了的温度控制和超长的维间隔以及同类产品中佳的抽气性能，确保您长期享有低廉的运行成本。

iH600 Edwards半导体干式真空泵功能和优势优化了设施消耗。无需预防性维护。

悬臂轴和的异型转子便干颗粒的处理。

在节省电机功率的大程度提高了工作繁重的CVD 应用条件下的稳定性。耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。