花都区inficon真空计控制器出售

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空检漏的意义？

答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；真空计显示的数值小。

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▲DL-10A谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗Z为：Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压，VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗，由阻抗与气体压强的关系曲线，便可知道气体的压强。例如，DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器，其阻抗与压强的关系如下所示：▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系

图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强，由图可见，在压强小于100Pa，△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间，△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中，测量△Z值，由数码管显示对应的压强值，这就是石英真空计的工作原理。

DL-10A设置一个零点调节按键，当压强小于10-3Pa时，按一下该按键，单片机执行中断程序，将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键，当传感器暴露在大气时，按一下该按键，单片机执行另一中断程序，将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时，应进行零点调节及大气调节。

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